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ABXY

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ABXY
ABXY

ABXY-ZT4系列平臺是一款具有六自由度的氣浮、機械運動平臺。專為后道曝光機及晶圓檢測、切片、退火等要求嚴格的半導體工業設計而設計。

詳細介紹
  • ABXY的優點:
    1、X、 Y采用氣浮軸承,運行平穩
    2、雙驅步進軸具有被動減震模塊
    3、T軸:任意微轉動,用于調平
    4、Z軸:快速、精準的對焦運動

    Travel

    Scan Axis

    350 mm,500 mm,

    Step Axis

    350 mm,500 mm

    Z Axis

    5 mm

    Tip/Tilt Axis

    ±2 mrad

    Rz

    ± 3°

    Drive System

    Linear Brushless Motor                  

    Resolution

    < 1 nm

    Accuracy  

    ±200 nm

    Repeatability(choose linear driver

    ±100 nm ( ±50 nm Optional )

    XYZ Position Stability(Air On)

    20 nm

    Granite Bass Thickness

    250 mm

    Rated Payload(Maintaining Dynamic Specifications)

    5 kg

    Maximum Payload

    10 kg

    Maximum Velocity with Rated Payload

    Scan & Step Axis 

    400 mm/s

    Peak Acceleration with Rated Payload

    Scan & Step Axis

    1G (10 m/s2)

    RMS Acceleration with Rated Load

    Scan & Step Axis

    0.5G (5 m/s2)

    Stiffness,First Natural Frequency with Rated Payload

    >100 Hz

    Pitch

    2 arc sec

    Roll

    2 arc sec

    Yaw

    2 arc sec

    XY straightness

    1 um

    XY Flatness

    1.2 um

    XY Orthogonality

    <2 arc sec

    Velocity ripple( sampled at 400mm/s)

    0.1 %

    MTBF

    20,000 hours


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